Фактические многослойные структуры отображают поверхности и границы раздела, которые не являются резкими на атомном уровне. Поверхностная шероховатость и ее корреляция от одной границы раздела до другой крайне важны для многих областей применения. Поэтому знание и контроль качества границ раздела представляют как практический, так и фундаментальный интерес.

Рассеяние рентгеновского излучения предлагает неразрушающий метод получения информации о внутренних границах раздела. Рентгеновская рефлектометрия чувствительна к толщине пленки, плотности материалов, а также к поверхностной шероховатости. Тем не менее по одному зеркальному отражению невозможно отличить градиент плотности от физической шероховатости. Измерять диффузную неоднородную часть по шероховатой поверхности/границе раздела лучше всего с помощью незеркального рассеяния рентгеновского излучения. В одном из возможных спектров образец вращается под фиксированным углом детектора.

XDS350px.jpg

Данные диффузного рассеяния демонстрируют типичные характеристики шероховатости. Эти выступы (так называемые пики Йонеды) с нижней и верхней стороны зеркальной части указывают на наличие шероховатости. Расстояние от выступов до зеркальной части зависит от плотности длины рассеяния. Анализ выполняется путем установки модели образца, описывающей шероховатые границы раздела в борновском приближении с искаженными волнами.

Empyrean

Empyrean

Интеллектуальный дифрактометр

Подробнее
Измерение Crystal structure determination, Идентификация фаз, Phase quantification, Contaminant detection and analysis, Residual stress, Epitaxy analysis, Interface roughness, Анализ текстур, 3D structure / imaging, Reciprocal space analysis
Конфигурация гониометра Vertical goniometer, Θ-Θ
Диапазон размеров частиц 1 - 100 nm
Технология X-ray Diffraction (XRD)

Empyrean

Empyrean

Интеллектуальный дифрактометр

Подробнее
Измерение Crystal structure determination, Идентификация фаз, Phase quantification, Contaminant detection and analysis, Residual stress, Epitaxy analysis, Interface roughness, Анализ текстур, 3D structure / imaging, Reciprocal space analysis
Конфигурация гониометра Vertical goniometer, Θ-Θ
Диапазон размеров частиц 1 - 100 nm
Технология X-ray Diffraction (XRD)

Empyrean

X'Pert³ MRD

X'Pert³ MRD XL

Empyrean X'Pert³ MRD X'Pert³ MRD XL

Интеллектуальный дифрактометр

Versatile research & development XRD system

Versatile research, development & quality control XRD system

Подробнее Подробнее Подробнее
Технология
X-ray Diffraction (XRD)
Анализируемые свойства
Interface roughness
色综合欧美在线视频区,日本高清色在线视频免费,国语自产拍在线视频中文